SLA5850D | Brooks Instrument Vietnam

SLA5850D | Brooks Instrument Vietnam là thiết bị điều khiển lưu lượng khối (mass flow controller – MFC) thế hệ mới, được thiết kế với độ chính xác cao.
Sản phẩm nổi bật trong các ngành yêu cầu kiểm soát lưu lượng khí nghiêm ngặt như bán dẫn, dược phẩm và năng lượng sạch.
Với công nghệ tiên tiến và thiết kế bền bỉ, SLA5850D đáp ứng các tiêu chuẩn toàn cầu về hiệu suất và độ tin cậy.
ĐẶC ĐIỂM NỔI BẬT CỦA SLA5850D | BROOKS INSTRUMENT VIETNAM
-
Độ chính xác cao và ổn định lâu dài nhờ cảm biến nhiệt điện vi sai tiên tiến.
-
Tích hợp các giao thức truyền thông kỹ thuật số như DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus® để kết nối dễ dàng.
-
Thân vỏ bằng thép không gỉ 316L giúp tăng khả năng chống ăn mòn.
-
Hiệu suất ổn định trong môi trường khắc nghiệt, độ trễ thấp và thời gian phản hồi nhanh.
-
Thiết kế nhỏ gọn, dễ lắp đặt vào hệ thống hiện có mà không cần thay đổi nhiều.
ỨNG DỤNG
SLA5850D | Brooks Instrument Vietnam được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực như:
-
Ngành công nghiệp bán dẫn: kiểm soát lưu lượng khí chính xác trong quá trình sản xuất chip.
-
Sản xuất dược phẩm: đảm bảo lưu lượng khí vô trùng và ổn định trong môi trường phòng sạch.
-
Ngành năng lượng tái tạo: ứng dụng trong các hệ thống sản xuất pin nhiên liệu và điện phân hydro.
-
Phòng thí nghiệm và R&D: hỗ trợ kiểm tra và thử nghiệm với độ chính xác cao.
BẢNG THÔNG SỐ KỸ THUẬT CỦA SLA5850D | BROOKS INSTRUMENT VIETNAM
Thông số | Giá trị |
---|---|
Dải lưu lượng | 3 sccm đến 50 slpm |
Độ chính xác | ±1% của giá trị đọc hoặc ±0.2% của thang đo |
Tín hiệu đầu ra | Analog (0–5V, 4–20mA) hoặc Digital (RS485, EtherCAT) |
Vật liệu tiếp xúc khí | Thép không gỉ 316L |
Áp suất hoạt động tối đa | 150 psig (10 bar) |
Nhiệt độ hoạt động | 0°C đến 50°C |
Giao thức truyền thông | DeviceNet™, Profibus®, EtherNet/IP™, Modbus® |
Cổng kết nối | VCR®, Swagelok® |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.