1179C02753CR1BV | MKS Vietnam

1179C02753CR1BV Mass Flow Controller MKS Vietnam là bộ điều khiển lưu lượng khối (Mass Flow Controller – MFC) được thiết kế để đo và điều khiển chính xác lưu lượng khí trong nhiều quy trình công nghiệp. Thiết bị thuộc dòng 1179C nổi tiếng của MKS Instruments. Sản phẩm mang đến khả năng kiểm soát lưu lượng ổn định, tốc độ đáp ứng nhanh và độ chính xác cao.
Thiết bị được sử dụng rộng rãi trong ngành bán dẫn, sản xuất màn hình, phòng thí nghiệm, công nghệ chân không và nhiều ứng dụng yêu cầu kiểm soát lưu lượng khí chính xác. Dòng 1179C được thiết kế để dễ dàng thay thế các bộ MFC tiêu chuẩn mà không cần thay đổi hệ thống đường ống hoặc dây kết nối.
Đặc điểm nổi bật của 1179C02753CR1BV Mass Flow Controller MKS Vietnam
- Điều khiển lưu lượng khí với độ chính xác cao.
- Độ ổn định điểm Zero vượt trội nhờ cảm biến độc quyền của MKS.
- Thời gian khởi động nhanh, giúp giảm thời gian chờ của hệ thống.
- Đáp ứng điều khiển nhanh và độ lặp lại cao.
- Thiết kế nhỏ gọn với kích thước tiêu chuẩn 3 inch.
- Dễ dàng thay thế các Mass Flow Controller thông dụng.
- Hỗ trợ tín hiệu điều khiển analog 0–5 VDC.
- Tương thích với nhiều bộ nguồn và bộ hiển thị của MKS cũng như các hãng khác.
- Vật liệu tiếp xúc với lưu chất bằng thép không gỉ 316L cho độ bền cao.
- Đáp ứng các yêu cầu về môi trường công nghiệp và tiêu chuẩn CE.
Ứng dụng của 1179C02753CR1BV Mass Flow Controller MKS Vietnam
1179C02753CR1BV được sử dụng trong nhiều lĩnh vực yêu cầu kiểm soát lưu lượng khí chính xác như:
- Hệ thống sản xuất chất bán dẫn.
- Thiết bị phủ màng chân không.
- Công nghệ PVD và CVD.
- Thiết bị phân tích khí.
- Phòng nghiên cứu và phòng thí nghiệm.
- Dây chuyền sản xuất màn hình LCD và OLED.
- Công nghiệp quang điện.
- Hệ thống laser công nghiệp.
- Quy trình xử lý vật liệu.
- Hệ thống điều khiển khí trong sản xuất điện tử.
Bảng thông số kỹ thuật của 1179C02753CR1BV Mass Flow Controller MKS Vietnam
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Model | 1179C02753CR1BV |
| Hãng sản xuất | MKS Instruments |
| Loại thiết bị | Mass Flow Controller (MFC) |
| Chức năng | Đo và điều khiển lưu lượng khí |
| Dòng sản phẩm | 1179C General Purpose |
| Dải điều khiển | 2% đến 100% Full Scale |
| Dải lưu lượng Full Scale | Theo cấu hình của model |
| Độ chính xác | ±1.0% Full Scale |
| Độ lặp lại | ±0.2% Full Scale |
| Độ phân giải | 0.1% Full Scale |
| Thời gian ổn định | < 2 giây |
| Thời gian khởi động | Khoảng 2 phút |
| Áp suất đầu vào tối đa | 150 psig |
| Nhiệt độ hoạt động | 0 đến 50°C |
| Tín hiệu điều khiển | 0–5 VDC |
| Nguồn cấp | ±15 VDC |
| Kết nối điện | D-Sub 9 hoặc 15 chân (tùy cấu hình) |
| Vật liệu tiếp xúc | 316L Stainless Steel, Nickel, Viton (tùy cấu hình) |
| Chứng nhận | CE |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.