Electromagnetic Flow Meter ONICON – Giải pháp đo lưu lượng trong ngành bán dẫn
1. Giải pháp Electromagnetic Flow Meter ONICON là gì?
Electromagnetic Flow Meter ONICON là thiết bị đo lưu lượng dạng điện từ sử dụng nguyên lý cảm ứng điện từ để xác định lưu lượng chất lỏng dẫn điện. Thiết bị được phát triển bởi ONICON Incorporated, chuyên cung cấp giải pháp đo lường chính xác cho các ứng dụng công nghiệp yêu cầu độ sạch và độ chính xác cao.
Trong ngành bán dẫn, thiết bị được sử dụng để đo lưu lượng nước siêu sạch (UPW), hóa chất và các dung dịch xử lý trong quy trình sản xuất wafer.
2. Vì sao cần đo lưu lượng chính xác trong ngành bán dẫn?
![]()
2.1 Yêu cầu độ chính xác cực cao
Quy trình sản xuất chip yêu cầu:
Kiểm soát chính xác lưu lượng chất lỏng
Đảm bảo đồng đều trong các công đoạn xử lý wafer
→ Sai lệch nhỏ cũng có thể ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.
2.2 Sử dụng nước siêu sạch & hóa chất đặc biệt
Ngành bán dẫn sử dụng:
Ultra Pure Water (UPW)
Hóa chất tẩy rửa wafer
Dung dịch etching & cleaning
→ Cần thiết bị đo không gây nhiễm bẩn và có độ ổn định cao.
2.3 Vận hành liên tục & tự động hóa cao
Nhà máy bán dẫn yêu cầu:
Giám sát lưu lượng 24/7
Tích hợp hệ thống điều khiển tự động
Độ tin cậy và lặp lại cao
3. Giải pháp đo lưu lượng với Electromagnetic Flow Meter ONICON

Nguyên lý hoạt động
Dựa trên định luật Faraday về cảm ứng điện từ
Khi chất lỏng dẫn điện chảy qua từ trường → tạo ra điện áp
Điện áp tỷ lệ với vận tốc dòng chảy
Tính toán và hiển thị lưu lượng chính xác
Các công nghệ nổi bật
Đo lưu lượng không tiếp xúc cơ học
Không gây sụt áp
Độ chính xác cao và ổn định
Thiết kế phù hợp môi trường sạch
Chống nhiễu điện từ tốt
4. Ưu điểm của Electromagnetic Flow Meter ONICON

Độ chính xác & độ lặp lại cao
Đo lưu lượng ổn định
Phù hợp quy trình yêu cầu nghiêm ngặt
Giảm sai số trong sản xuất
Không gây nhiễm bẩn
Không có bộ phận chuyển động
Không ảnh hưởng đến độ sạch của chất lỏng
Phù hợp UPW và hóa chất
Độ bền & độ tin cậy cao
Hoạt động liên tục 24/7
Ít bảo trì
Tuổi thọ dài
Dễ tích hợp hệ thống tự động
Kết nối PLC / SCADA
Hỗ trợ giám sát và điều khiển từ xa
Phù hợp nhà máy thông minh
5. Ứng dụng thực tế trong ngành bán dẫn

Electromagnetic Flow Meter ONICON được sử dụng trong:
Hệ thống cấp nước siêu sạch (UPW)
Quy trình rửa wafer
Hệ thống cấp hóa chất
Hệ thống làm mát thiết bị
Nhà máy sản xuất chip bán dẫn
Giải pháp giúp doanh nghiệp:
✔ Đảm bảo lưu lượng chính xác trong từng công đoạn
✔ Duy trì chất lượng sản xuất wafer
✔ Giảm rủi ro lỗi sản phẩm
✔ Tối ưu vận hành hệ thống
✔ Đáp ứng tiêu chuẩn ngành bán dẫn
6. Kết luận
Electromagnetic Flow Meter ONICON là giải pháp đo lưu lượng chính xác và đáng tin cậy cho ngành bán dẫn. Với khả năng đo không xâm lấn, độ chính xác cao và phù hợp môi trường siêu sạch, thiết bị giúp các nhà máy sản xuất chip tối ưu quy trình, nâng cao chất lượng sản phẩm và đảm bảo vận hành ổn định lâu dài.
Hãy liên hệ ngay với Jon & Jul để được tư vấn và trải nghiệm các giải pháp! Chúng tôi sẵn sàng đồng hành cùng bạn trong mọi dự án..